在美国能源部(DOE)阿贡国家实验室和哈佛大学的合作中,研究人员成功地在微电子机械系统(MEMS)平台上制作了一个基于表面的透镜。结果是一种新的红外光聚焦系统,它结合了两种技术的最佳特性,同时减小了光学系统的尺寸。
超颖表面可以在纳米尺度上构造,以像透镜一样工作。这些变元是由哈佛大学应用物理学教授罗伯特·L·华莱士和他在哈佛大学约翰·保尔森工程与应用科学学院(SEAS)的团队Federico Capasso开创的。这些镜头正在迅速发现应用,因为它们比现有镜头更薄且体积更小,并且可以用与制造计算机芯片相同的技术制造。与此同时,MEMS是小型机械设备,由微小的可移动镜子组成。
“这些设备是当今许多技术的关键。它们已经在技术上普及,并已被采用,从激活汽车安全气囊到智能手机的全球定位系统,”阿尔贡纳纳米中心纳米制造和设备组负责人Daniel Lopez说。材料,DOE科学用户设施办公室。
Lopez,Capasso和四位合着者描述了他们如何在APL Photonics的一篇题为“基于MEMS技术的动态超曲面透镜” 的文章中制作和测试他们的新器件。该装置的直径为900微米,厚度为10微米(人发约为50微米厚)。
该合作正在进行的进一步开发这两种技术的新应用的工作是在Argonne的纳米材料中心,SEAS和哈佛纳米系统中心进行的,该中心是国家纳米技术协调基础设施的一部分。
在技术上合并的光学系统中,MEMS镜反射扫描光,然后元透镜聚焦,而不需要诸如聚焦透镜之类的附加光学元件。Argonne / Harvard团队克服的挑战是在不损害其性能的情况下整合这两种技术。
最终目标是制造光学系统的所有组件 - MEMS,光源和基于表面的光学 - 与当今制造电子产品的技术相同。
“那么,原则上,光学系统可以像信用卡一样薄,”洛佩兹说。
这些MEMS上的镜头设备可以推进用于引导自动驾驶汽车的LIDAR系统。相比之下,目前的LIDAR系统扫描其紧邻的障碍物,直径为几英尺。
“你需要特定的,大而笨重的镜头,而你需要机械物体来移动它们,这是缓慢而昂贵的,”洛佩兹说。
“第一次成功整合metalenses和MEMS,通过其高度兼容的技术实现,将为光学系统带来高速和灵活性,以及前所未有的功能,”Capasso说。