光刻机的分辨率是什么（分辨率 光刻工艺中的分辨率具体什么情况）

每日小编都会为大家带来一些知识类的文章，那么今天小编为大家带来的是分辨率 光刻工艺中的分辨率方面的消息知识，那么如果各位小伙伴感兴趣的话可以，认真的查阅一下下面的内容哦。

1、掩模版上相邻两点在晶圆表面可以清晰成像的对应的最小距离或区别硅片表面上两个或更多的邻近特征图形的能力称为分辨率。

本文到此结束，希望对大家有所帮助。